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業(yè)務(wù)詳情
業(yè)務(wù)板塊
- 產(chǎn)品描述
-
概述
GR-410系列激光劃片機(jī)，配置進(jìn)口激光器，加工效率高，質(zhì)量穩(wěn)定， 設(shè)備簡單易操作；提供傳統(tǒng)矩形GPP晶圓的全切割/半切割劃片方式， 可升級提供六邊形劃切（三角形切割方式）。
全系列產(chǎn)品分為四款設(shè)備：
GR-410和GR-410Z兩款設(shè)備支持劃切產(chǎn)品為正面溝槽去除玻璃后的 GPP產(chǎn)品或晶圓背面制作標(biāo)記圖形的產(chǎn)品。正面對準(zhǔn)正面劃切，不支持 底部對準(zhǔn)功能。
GR-410D和GR-410DZ兩款設(shè)備擁有獨(dú)特的雙光路系統(tǒng)，為單面光 刻晶圓提供了背面劃切方案與背面打標(biāo)方案。正面對準(zhǔn)正面/背面劃切， 支持底部對準(zhǔn)功能。
性能指標(biāo)劃切參數(shù)
劃切對象
4寸至6寸GPP晶圓和硅晶圓
劃切方式
等距矩形切割，支持三角形切割（手動對準(zhǔn)）
激光參數(shù)
光纖激光器，最大功率20W
劃切速度
W250mm/s
切割精度
±0.003mm
切割線寬
0.035-0.055mm
切割深度
<0.12mm
工作臺參數(shù)
工作范圍
220mm*200mm
工作臺分辨率
0.0005mm
旋轉(zhuǎn)電機(jī)行程
360° 185°
旋轉(zhuǎn)電機(jī)定位精度
30”
Z向定位精度
0.01mm
Z向激光調(diào)焦行程
20mm
其他
自動對位范圍
35mil-305mil
自動對位精度
0.01mm
外形尺寸 (WxDxH) mm
GR-410/GR-410D
760x1165x1650
GR-410Z/GR-410DZ
940x1165x1650
設(shè)備重重kg
GR-410/GR-410D
750
GR-410Z/GR-410DZ
800
產(chǎn)品特色
●底部對準(zhǔn)
●背面打標(biāo)
●自動上下料
●自動對位
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